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新聞資訊 常見(jiàn)問(wèn)題

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)能不能測(cè)量高純度氣體的流量!

熱式氣體質(zhì)量流量計(jì),是指一種基于熱敏傳感技術(shù)的氣體質(zhì)量流量計(jì)。其中包括了差壓式、熱式以及超聲波式等傳感器類型,通過(guò)將氣體流過(guò)一個(gè)加熱器和兩個(gè)熱敏電阻器的裝置,來(lái)完成對(duì)氣體質(zhì)量流量的測(cè)量。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)被廣泛應(yīng)用與氣體質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量和控制上,使得高純度氣體的流量測(cè)量更加穩(wěn)定。
在電子工業(yè)中,高純氣體的流量控制也是一個(gè)至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。例如,在半導(dǎo)體制造工藝中,熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)被廣泛應(yīng)用到高純度的腐蝕性器具的氣體流量測(cè)量,并在制造過(guò)程中起到了至關(guān)重要的作用。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在高純度氣體流量測(cè)量中的應(yīng)用,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體流量的高可靠、無(wú)腐蝕的測(cè)量和控制,保證了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定可靠。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,相信熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在高純度氣體流量測(cè)量領(lǐng)域中的應(yīng)用將會(huì)越來(lái)越廣泛。

插入式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)(2).JPG

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